ChemNet
 
Предыдущий реферат Следующий реферат Содержание номера патент
9.МБ.298. Технологические фильтры Recovery of perfluorinated compounds from the exhaust of semiconductor fabs using membrane and adsorption in series. Yang James Hsu-Kuang, Chernyakov Iosif, Hsiung Thomas Hsiao-Ling, Schwarz Alexander. Пат. 5976222 США, МПК6 B 01 D 53/22; Air Products and Chemicals, Inc. 09/046092; Заявл. 23.03.1998; Опубл. 02.11.1999; НПК 95/45
Патентуется способ полного восстановления и нейтр-ции фторсодерж. соед., образующихся при плазмохим. обработке и поступающих в вытяжную вентиляции в произ-ве полупроводниковых приборов с помощью адсорбц. МБ

Ключевые слова: []акк мембранные фильтры% акк мембранная адсорбция% акк фтор соединения% к газы отходящие% н из вытяжной вентиляции, восстановление и нейтр-ция% акк травление% н плазмохим.% н ИС% к полупроводниковые приборы% акк техника безопасности% акк окружающая среда охрана


Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.

Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается  копирование материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору