ChemNet
 

[На предыдущую главу]

Заключение

Таким образом, варьируя основные параметры CVD-процесса, можно переходить из одной макрокинетической области в другую и добиваться тем самым получения металлического слоя либо на внутренней поверхности керамической подложки, либо на внешней. В результате работы установлено, что для формирования анизотропной структуры Мо-керамических мембран необходимо, чтобы CVD-процесс осуществлялся во внешнедиффузионной области. Этому способствуют:

– невысокая температура испарения Мо(СО)6 – порядка 60°С,

– температура подложки около 400°С и

– увеличение продолжительности процесса осаждения до 6 часов, в зависимости от того, какой толщины металлический слой необходимо сформировать.

[На Список литературы] [На Содержание]

Copyright ©




Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается  копирование материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору