ChemNet
 
Предыдущий реферат Следующий реферат Содержание номера патент
11.МБ.234. Датчик и способ его изготовления Sensor und Verfahren zu seiner Herstellung. Eriksen Gert Friis. Заявка 19845537 Германия, МПК 7 H 01 L 49/00, H 01 L 21/58. Grundfos A/S. 198455372; Заявл. 02.10.1998; Опубл. 13.04.2000. Нем.
Патентуются конструкция и способ изготовления датчика для измерения давл. Датчик содержит кремниевую подложку, выполняющую роль МБ. На нижнюю окисленную ПВ подложки наносится пьезорезистивный слой, к-рый через толстую, электропроводящую пластину закрепляется на стеклянном несущем основании. Снизу стеклянная пластина дополняется толстым комбинир. металло-кремниевым основанием. Для облегчения деформации изгиба МБ с пьезорезистивным слоем, между ней и стеклянным основанием формируется цилиндрич. полость. Внешняя ПВ датчика покрывается защитной ПЛ хрома-тантала или карбида кремния.

Ключевые слова: акк датчики% акк давление измерение% акк мембраны неорганические% н кремниевые, с пьезорезистивным слоем% акк металлокерамика% акк пленки% н защитные, карбид кремния и др.


Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.

Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается  копирование материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору