ChemNet
 
Предыдущий реферат Следующий реферат Содержание номера статья
10.МБ.174. Водородные сенсоры на основе каталитических металлов Беклемышев В.И., Березкин В.А., Махонин И.И., Шкуропат И.Г., Шокин А.Н., Певгов В.Г., Семенов А.В. Всерос. конф. с междунар. участием "СЕНСОР-2000. Сенсоры и микросистемы", Санкт-Петербург, 21-23 июня, 2000: Тез. докл. СПб. 2000, с. 145. Рус.
Разработаны и изготовлены преобразователи конц-ии водорода в электрич. сигналы (водородные сенсоры) на основе микроэлектронной и микромех. (мембранной) технологий. Конструкция кристалла содержит кремниевую рамку-основание размером 3´3 мм, на к-рой сформирована тонкая (1,5-2 мкм), многослойная (от 3 до 12 слоев), термокомпенсир. (106 термоциклов 20-400ºC), диэлектрич. (Si3N4, SiO2, Si) МБ, к-рая является достаточно прочной (выдерживает сквозные проколы без разрушения) и термостойкой (выдерживает разовые импульсные нагревы до 1000ºC). Центральная часть МБ размером 1,4´1,4 мм2 является носителем функциональных элементов сенсора. Контактные площадки расположены на периферии. Сенсор размещен в станд. корпусе ТО-5.

Ключевые слова: акк мембраны неорганические% н многослойные, получение% акк сенсоры% н водородные% акк металлы% н каталитич.% акк кремний диоксид% асп кремний% п нитриды% акк кристаллы% н на кремниевой рамке-основании% акк мембранная технология% акк микроэлектронная технология% акк электрохимические преобразователи% н конц-ии водорода в электрич. сигналы




Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается  копирование материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору