А. Н. Шатохин, А. В. Демидов, Ф. Н. Путилин, М. Н. Румянцева, А. М. Гаськов

Исследование характеристик плазмы палладия и платины для легирования поликристаллических пленок методом лазерной абляции

Изучены процессы испарения мишеней Pd и Pt под действием излучения импульсного Kr–F-лазера. Особое внимание уделено исследованиям плазмообразования в зависимости от плотности потока энергии (мощности) лазерного излучения, определены пороги генерации плазмы Pd и Pt, проведены эксперименты по зондированию плазмы, в результате которых получены трехмерные спектры плотностей распределения зарядов ионов по кинетическим энергиям и времени. Предложена модель лазерной абляции, качественно объясняющая различия энергетических характеристик ионов Pd и Pt в плазме.

  Полный текст статьи в формате PDF

Вестник Московского Университета.
Химия 2001, том 42, № 3, стр. 167-171