ChemNet
 

 

Рис. 1. Схема CVD-реактора:
1 –
испаритель, 2 – реакционная камера, 3 – чашечка с Мо(СО),
4 – нагреватель чашечки, 5 – термопара, 6 – пористая керамическая трубка,
7 – печь сопротивления, 8 – обратный клапан (препятствует попаданию
кислорода воздуха в реактор), 9 – крышка.

Copyright ©




Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается  копирование материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору