 |
|
|
29.МБ.250. Фильтрующий элемент и способ его изготовления
Filterelement und Verfahren zu dessen Herstellung. Hofmann Wilfried. Заявка 10353894 Германия, МПК 7 B 01 D 69/00, B 01 D 71/02. NFT Nanofiltertechnik GmbH. №10353894.1; Заявл. 18.11.2003; Опубл. 17.02.2005. Нем.
Предлагается способ изготовления фильтрующего элемента, отличающегося высокой и долговременной механической стабильностью при повышенной фильтрующей способности. Способ включает следующие операции: нанесение методами CVD (химическое осаждение из паровой фазы) или PVD (физическое вакуумное напыление) на носитель из слоя кремния мембраны из Si3N4, SiC или другой карбидной безоксидной керамики; травление слоя носителя с образованием под мембраной фильтровальной камеры и остаточного слоя носителя, поддерживающего мембрану; перфорирование мембраны методами литографии или травления; удаление травлением остаточного слоя носителя; дополнительная термическая обработка мембранного слоя для повышения его механической прочности путем горячего прессования при повышенной температуре (200-2000ºC) и давлении (5-100 Па).
Ключевые слова: АКК фильтрующие материалы, АКК мембраны, к кремний, АКК покрытия, АКК кремний нитрид, АКК кремний карбид, АКК покрытия нанесение
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
