ChemNet
 
Предыдущий реферат Следующий реферат Содержание номера патент
21.МБ.336. Способ и устройство для получения особо чистой воды, имеющей повышенную температуру High-temperature ultrapure water production apparatus and liquid medicine preparation apparatus equipped with the production apparatus. . Пат. 6562205 США, МПК 7 C 02 F 1/46. Mitsubishi Denki KK, Ban Cozy, Koba Kazunori, Momose Shoichi, Iwai Toshinori. №09/554558; Заявл. 18.09.1998; Опубл. 13.05.2003: Приор. 31.03.1997, №9-79277(Япония); НПК 204/242. Англ.
Способ предназначен, в частности, для подготовки воды, используемой в производстве полупроводников. Схема обработки многоступенчатая, вначале следуют ступени предварительной обработки (фильтрование, сорбция на акт. угле), затем вода подвергается обработке методом обратного осмоса, деионизации, эвапорации и нагреву до 35ºC (нагретая вода находится в режиме рециркуляции с целью обеспечения постоянной температуры). Узел деионизации имеет анод и катод, между которыми находятся камеры, разделенные ионообменными мембранами, эти камеры заполнены ионообменными смолами, узел генерирует также кислую воду (в анолитной камере), и щелочную (в католитной). Сопротивление подготовленной воды не ниже 18 МОм/см.

Ключевые слова: АКК полупроводники, н произ-во, АКК вода технология, АКК вода, н особо чистая с повышенной т-рой, н получение, устр-во




Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается  копирование материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору