 |
|
|
21.МБ.56. Исследование пористых кремниевых мембран методом диффракции рентгеновских лучей
X-ray diffraction study of confined porous silicon membranes. Milita S., Servidori M., Maccagnani P., Cembali F., Pozzi P., Dori L.. J. Electrochem. Soc. 2001. 148, № 8, с. G447–G451. Англ.
Различные методы рентгеновской дифрактометрии использованы для изучения пористых кремниевых мембран толщиной 30 мкм со сторонами 1-2.5 мм и номинальной пористостью от 55 до 65%, полученных на квадратных участках, локализованных на кремнии p+. Обнаружено, что структурные характеристики мембран практически те же самые, что и у пористого кремния сформированного на объемной подложке. Механические деформации в пористых мембранах со сторонами 1-1.5 мм таковы, что производство надежных твердых сенсорных устройств на их основе реально.
Ключевые слова: АКК мембраны, к кремний, н свойства, АКК пористые материалы, АКК рентгенография
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
