ChemNet
 
Предыдущий реферат Следующий реферат Содержание номера  
16.МБ.308. Анализ структуры селективного слоя композиционных молибден-керамических мембран Бобров В.С., Гадалова О.Е., Жалыбина Н.В., Скудин В.В. Крит. технол. Мембраны. 2002. 16, с. 1720
В настоящей работе представлен анализ структуры молибденового слоя, осажденного из паров гексакарбонила молибдена градиентным CVD-методом на керамические подложки. Установлено, что применение CVD-реактора, обеспечивающего градиент температур от подложки к его стенкам, позволяет формировать довольно плотные поверхностные структуры при значительно меньшем времени осаждения и более низких температурах осаждения, чем при осуществлении изотермического режима CVD-метода. Даже при наличии больших каверн на подложке происходит их заполнение либо пленочными образованиями, либо сфероидами или глобулами, образованными из них.

Ключевые слова: композиционные неорганические мембраны, химическое осаждение из газовой фазы, Mo

Полный текст статьи




Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается  копирование материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору