 |
|
|
16.МБ.308. Анализ структуры селективного слоя композиционных молибден-керамических мембран
Бобров В.С., Гадалова О.Е., Жалыбина Н.В., Скудин В.В. Крит. технол. Мембраны. 2002. № 16, с. 17–20
В настоящей работе представлен анализ структуры молибденового слоя, осажденного из паров гексакарбонила молибдена градиентным CVD-методом на керамические подложки. Установлено, что применение CVD-реактора, обеспечивающего градиент температур от подложки к его стенкам, позволяет формировать довольно плотные поверхностные структуры при значительно меньшем времени осаждения и более низких температурах осаждения, чем при осуществлении изотермического режима CVD-метода. Даже при наличии больших каверн на подложке происходит их заполнение либо пленочными образованиями, либо сфероидами или глобулами, образованными из них.
Ключевые слова: композиционные неорганические мембраны, химическое осаждение из газовой фазы, Mo
Полный текст статьи
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
