 |
|
|
16.МБ.270. Способ выделения фторсодержащих газов
Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases. Пат. 6254666 США, МПК7 B 01 D 53/22. L‘Air Liquide, SA l‘Etude et l‘Exploitation des Procedes Georges Claude, American Air Liquide, Li Yao-En, Paganessi Jospeh E., Vassallo David, Fleming Gregory K. № 09/536687; Заявл. 28.03.2000; Опубл. 03.07.2001; НПК 95/39. Англ.
Патентуется новый способ выделения фторсодержащих газов из смеси, в состав которой входят также воздух, азот, кислород, аргон, гелий и др. компоненты. Отмечена возможность использования предложенной технологии для выделения тетрафторуглерода, гексафторэтана, трифторазота, шестифтористой серы, трехфтористого брома и др. аналогичных соединений, используемых в процессах производства полупроводниковых приборов. Предлагаемый способ предусматривает предварительную очистку газовой смеси в скрубберах от аммиака, фтористого водорода и др. аналогичных соединений, а также выделение мелкодисперсных механических частиц методом фильтрования. Затем разделение газовой смеси осуществляется с применением полупроницаемых мембран, обеспечивающих выделение из газовой смеси фторсодержащих газов. В качестве материала мембран, применяемых в рассматриваемом процессе, рекомендуется использовать такие полимеры как полиимиды, полиамиды, поликарбонаты и др. аналогичные химические соединения. Выделенные в мембранных блоках компоненты, с фторсодержащими соединениями подвергаются дальнейшей очистке методом низкотемпературной конденсации с использованием жидкого азота, после чего могут быть утилизированы в производстве полупроводниковых приборов или направлены в систему аккумулирования. Выделенные в мембранных блоках газы с низким содержанием примесей фторсодержащих компонентов подвергаются дополнительной очистке перед сбросом их в атмосферу с целью удаления токсичных остаточных примесей. Приведены чертежи, описание конструкции и принципа действия устройства.
Ключевые слова: акк газы% н фторсодерж.% анн технология выделения% акк мембраны полимерные% н полупрониц.% н полиимиды% н полиамиды% н поликарбонаты% н использование% анн чертежи% н конструкция% н принцип действия устройства описание% акк патенты% н США
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
