ChemNet
 
Предыдущий реферат Следующий реферат Содержание номера статья
16.МБ.54. Влияние плазмохимического фторирования мембран ПТМСП на их газоразделительные характеристики Словецкий Д.И., Хотимский В.С. Всероссийская научная конференция "Мембраны - 2001", Москва, 2-5 окт., 2001: Программа. Тезисы докладов. М. 2001, с. 120. Рус.
Изучены ПВ МБ из политриметилсилилпропина (ПТМСП) в широком диапазоне изменения параметров плазмы ВЧ разряда в SF6, CF4 и в смесях SF6, CF4 с кислородом, а также времени экспозиции с контролем потоков и энергии частиц, бомбардирующих ПВ. Фторировались МБ в виде сплошных пленок толщиной 20100 мкм. Показано, что фторирование происходит в результате бомбардировки ПВ атомами фтора. Вероятность фторирования атомами в 103104 раз превышает вероятность фторирования молекулами фтора. Оно приводит к изменению хим. состава и строения тонких поверхн. слоев МБ из ПТМСП. Фторирование не приводит к травлению полимера, захватывая только тонкие поверхн. слои не более 100 нм при макс. экспозициях 3·1022 атомов фтора на см2 ПВ. Глубина фторирования увеличивается пропорционально корню квадратному из времени экспозиции, что свидетельствует о лимитирующей роли диффузии атомов фтора вглубь полимера. Проницаемость всех газов снижается, а селективность увеличивается с увеличением толщины фторир. слоя при неизменном составе плазмы.

Ключевые слова: акк мембраны полимерные% н политриметилсилилпропиновые% н газоразделит.% акк модифицирование% н фторирование ПВ плазмохимич.% акк газы% н проницаемость/селективность изменение




Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается  копирование материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору