 |
|
|
15.МБ.312. Процесс и система разделения газовой смеси, содержащей перфторуглеводороды
Process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases. Пат. 6214089 США, МПК7 B 01 D 53/22. American Air Liquide, Inc. SA, Li Yao-En, Paganessi Jospeh E., Vassallo David, Fleming Gregory K. № 09/119453; Заявл. 21.07.1998; Опубл. 10.04.2001; НПК 95/45. Англ.
Патентуется способ разделения газовых смесей, содержащих перфторуглеводороды. Рассматриваемый процесс может быть использован в промышленности по производству полупроводниковых приборов. Выделение из исходной газовой смеси гексафторэтана, тетрафторметана, трифторметана, трехфтористого азота, шестифтористой серы, перфторпропана, фторокиси углерода и др. аналогичных химических соединений осуществляется с применением полимерных мембран, поступающая из производственного процесса газовая смесь, помимо указанных соединений может содержать также аргон, арсин, трихлорид и трифторид бора, аммиак и др. компоненты. Указанная смесь охлаждается или нагревается до требуемой температуры и пропускается через скрубберную очистку для выделения хлорида и бромида водорода, аммиака, озона и др. примесей, оказывающих воздействие на материал полимерной мембраны, используемой для дальнейшего разделения газовой смеси. Прошедшая через фильтр газовая смесь, подается в мембранную камеру, где из нее выделяются компоненты, удаляемые из системы газоочистки, а перфторуглеводороды конденсируются в аппарате, охлаждаемом жидким азотом. Полученный на этой стадии очистки полупродукт подвергается дальнейшей очистке в адсорберах и возвращается в рабочий процесс производства. Представлена схема и описание всех этапов процесса разделения смеси указанного класса и даны рекомендации по выбору мембран и др. элементов, используемых в этой системе.
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
