 |
|
|
15.МБ.304. Выделение CF4и C2F6из смеси соединений фтора
Separation of CF4 and C2F6 from a perfluorocompound mixture. Пат. 6187077 США, МПК7 B 01 D 53/22, B 01 D 53/04. American Air Liquide Inc., Li Yao-En. № 09/061977; Заявл. 17.04.1998; Опубл. 13.02.2001; НПК 95/47. Англ.
В производстве полупроводников используются газообразные CF4 и C2F6, напр., в плазменном травлении. Отработавшие газы содержат непрореагировавшие CF4 и C2F6, а также SF6, NF3, CHF3 и N2. Обычно в них содержится до 90 об.% CF4 и C2F6 и ~10% указанных примесей. Для извлечения CF4 и C2F6 предлагается двухступенчатый процесс, включающий удаление NF3, CHF3 и N2 в мембранном разделительном аппарате и последующую очистку CF4 и C2F6 методом адсорбции. Газовая смесь сжимается в несмазываемом компрессоре и при температуре 20-60ºC направляется в аппарат с Мб, через которую диффундируют NF3, CHF3 и N2 при разности давлений 1,4-4,2 кгс/см2. Материалом Мб служат полиимиды, полиамиды, полисульфоны, ароматич. полиэфиры, а также асимметричные Мб. Расход газовой смеси лежит в пределах 0,01-0,5 м3/(м2ч). Непродиффундировавший газ (ретант) содержит до 99 об.% CF4 и C2F6 и 0,5-4 об.% SF6, а пермеат до 60 об.% NF3, CHF3 и N2. Адсорбционная очистка ретанта производится под давл. 20-3 бар при 30-100ºC и объемной скорости 10–1 мин–1. Адсорбентом могут служить цеолиты с мол. соотношением SiO2/Al2O3 (1:1)–(50:1), замещенные ионами Ca, Na, Li, Be, Mg, Fe, в частности, цеолиты NaX, CaX и LiX, а также акт. уголь и полимерные смолы. Периодически адсорбент регенерируется с выделением поглощенной SF6. Приведена принципиальная схема двухступенчатой установки для извлечения CF4 и C2F6.
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
