 |
|
|
12.МБ.269. Фильтр для очистки воздуха и способ его изготовления
Air filter unit and method for manufacturing the same. Пат. 6027553 США, МПК7 B 01 D 29/07. Daikin Industries, Ltd, Seiichi Hirano, Toshio Kusumi, Tomizou Soda. № 09/057165; Заявл. 08.04.1998; Опубл. 22.02.2000; Приор. 11.04.1997, № 9-094196 (Япония); НПК 95/283. Англ.
Предложена конструкция фильтра для очистки воздуха, поступающего в произв. помещения для изготовления полупроводников, выращивания кристаллов и т. п., отличающегося миним. выделением орг. в-в. Фильтрующий элемент образован пористой ПТФЭ МБ толщиной ~4 мкм, к-рая помещена между двумя листами из длинных волокон полиэфира, проницаемых для воздуха; они соединяются между собой с помощью расплава адгезива из полиэфира при т-ре 160–200ºC. Суммарная толщина композиции 100–700 мкм, сопротивление потоку воздуха при скорости 5,3 см/с составляет 10–100 мм вод. ст. Фильтрующий элемент представляет собой гофрир. структуру глубиной 25–50 мм при расстоянии между вершинами гофров 2–5 мм, к-рое выдерживается с помощью фиксаторов, располагаемых на расстоянии 25–50 мм друг от друга. Фильтрующий элемент устанавливается в коробе прямоугольного поперечного сечения, выполненном из алюминия, нерж. стали или ПВХ, и уплотняется адгезивом. Фильтр задерживает 99% частиц размером ≥0,1 мкм при размере пор 0,2–0,3 мкм и скорости набегающего потока воздуха 5,3 см/с. Для уменьшения загрязнения подаваемого в помещение воздуха орг. соед., к-рые могут выделяться из деталей фильтра, в частности, из адгезивов, производится предварит. обработка нагреванием фильтра чистым воздухом до т-ры ~80ºC в течение ~60 мин, после чего со стороны поступающего и выходящего очищ. воздуха фильтр закрывается ПЛ из сополимера ПТФЭ и перфторалкилвинилового эфира или др. аналогичного материала. После установки фильтра на место защитная ПЛ удаляется. Допустимое выделение орг. соед. в расчете на площадь ПВ 5´5 см2 при т-ре 40ºC не должно превышать 60 нг. Приведены конструкция фильтра и его детали, описана методика подготовки к работе, иллюстрир. примерами.
Ключевые слова: акк воздух очистка% н произв. помещений для изготовления полупроводников% акк мембранные фильтры% н гофрир. с ПК, конструкция% акк мембраны полимерные% н на основе пористого ПТФЭ
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
