 |
|
|
11.МБ.74. Термоанемометрический измеритель расхода воздуха
Березкин В.А., Качуровский Ю.Г., Трутнев Н.Ф., Шкуропат И.Г., Шокин А.Н., Петрик С.Е. Всерос. конф. с междунар. участием "СЕНСОР-2000. Сенсоры и микросистемы", Санкт-Петербург, 21–23 июня, 2000: Тез. докл. СПб. 2000, с. 238. Рус.
Первичный преобразователь термоанемометрич. измерителя расхода воздуха выполнен методами интегральной мембранной технологии. Кристалл первичного преобразователя содержит кремниевую рамку с многослойной термокомпенсир. диэлектрич. МБ из слоев диэлектриков SiO2 и Si3N4. В центре МБ, методами микроэлектроники, выполнен терморезистор, к-рый закрыт защитными диэлектриками из SiO2 и Si3N4. На рамке кристалла вскрыты контактные площадки к терморезистору. Кристалл имеет размер 3´3 мм и разварен в корпусе ТО-5. Изготовлены кристаллы измерит. и термокомпенсирующего резисторов, материал резисторов Pt.
Ключевые слова: акк мембраны неорганические% н диэлектрич. слои% акк кремний диоксид% акк кремний нитрид% акк терморезисторы% к сенсоры% акк воздух% к расход измерение% акк анемометры% н термо-% акк мембранная технология% н интегральная
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
