ChemNet
 
Предыдущий реферат Следующий реферат Содержание номера статья
11.МБ.74. Термоанемометрический измеритель расхода воздуха Березкин В.А., Качуровский Ю.Г., Трутнев Н.Ф., Шкуропат И.Г., Шокин А.Н., Петрик С.Е. Всерос. конф. с междунар. участием "СЕНСОР-2000. Сенсоры и микросистемы", Санкт-Петербург, 2123 июня, 2000: Тез. докл. СПб. 2000, с. 238. Рус.
Первичный преобразователь термоанемометрич. измерителя расхода воздуха выполнен методами интегральной мембранной технологии. Кристалл первичного преобразователя содержит кремниевую рамку с многослойной термокомпенсир. диэлектрич. МБ из слоев диэлектриков SiO2 и Si3N4. В центре МБ, методами микроэлектроники, выполнен терморезистор, к-рый закрыт защитными диэлектриками из SiO2 и Si3N4. На рамке кристалла вскрыты контактные площадки к терморезистору. Кристалл имеет размер 3´3 мм и разварен в корпусе ТО-5. Изготовлены кристаллы измерит. и термокомпенсирующего резисторов, материал резисторов Pt.

Ключевые слова: акк мембраны неорганические% н диэлектрич. слои% акк кремний диоксид% акк кремний нитрид% акк терморезисторы% к сенсоры% акк воздух% к расход измерение% акк анемометры% н термо-% акк мембранная технология% н интегральная




Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается  копирование материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору