ChemNet
 
Предыдущий реферат Следующий реферат Содержание номера патент
10.МБ.218. Способ изготовления ФПУ Verfahren zur Herstellung eines Strahlungssensors. Laermer Franz, Frey Wilhelm. Заявка 19843984 Германия, МПК7 H 01 L 35/24, H 01 L 35/28. Robert Bosch. 19843984.9; Заявл. 25.09.1998; Опубл. 30.03.2000. Нем.
Предлагается способ изготовления инфракрасного фотоприемного устр-ва (ФПУ) на полупроводниковой подложке. ФПУ состоит из растрового устр-ва элементов, разделенных материалом подложки. Подложка из Si покрывается тонкой ПЛ SiO2 или Si3N4, к-рая служит МБ для ПК контактных окон. Поглотитель излучения располагается на МБ, к-рая обладает низкой теплопроводностью и поэтому термически изолирована от подложки. Поглотитель излучения обладает широким спектром поглощения, т. к. содержит сверхтонкие частицы Au. При падении излучения на ФПУ поглотитель нагревается сильнее, чем вся подложка и образуются "горячие" и "холодные" контакты. С помощью термоэлемента регистрируется сигнал, пропорциональный разности т-р контактов.

Ключевые слова: акк мембраны керамические% акк кремний диоксид% асп кремний% п нитриды% н Si3N4% акк пленки полупроводниковые% акк кремний% н подложка% акк покрытия% н контактных окон% акк фотоприемные устройства% к лучи ИК




Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается  копирование материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору