 |
|
|
10.МБ.181. Навесная мембрана как элемент микросистемной техники
Власенко В.А., Шокин А.Н. Всерос. конф. с междунар. участием "СЕНСОР-2000. Сенсоры и микросистемы", Санкт-Петербург, 21-23 июня, 2000: Тез. докл. СПб. 2000, с. 282. Рус.
В отличие от классич. МБ, сформир. на кремниевой рамке-основании с послед. удалением подложки и представленных на настоящей конференции в докладах по микронасосу и водородному сенсору, разработана навесная МБ, к-рая представляет собой нависающую или натянутую над подложкой конструкцию. Функциональные возможности такой МБ гораздо шире, чем у классич. Это связано не только с тем, что ее линейные размеры м. б. сколь угодно малыми и формы любыми, но и с возможностью использования зазора под МБ как активного элемента при изготовлении различных приборов. Основным элементом, возникающим в процессе изготовления такой МБ, является так называемый "жертвенный слой", т. е. слой, к-рый находится между МБ и подложкой и в процессе формирования МБ удаляется методом травления, оставляя зазор с толщиной, равной толщине жертвенного слоя.
Ключевые слова: акк мембраны% н навесные% н получение, применение% акк травление% н промежут. слоя в процессе формирования МБ% акк техника% н микросистемная% акк насосы% н микро-, мембранные% акк сенсоры% н водородные
|
|
|
|
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам информацию, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервисов Google Analytics и Яндекс.Метрика). Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в настройках своего браузера.
Сервер создается при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований
Не разрешается копирование
материалов и размещение на других Web-сайтах
Вебдизайн: Copyright (C) И. Миняйлова и В. Миняйлов
Copyright (C) Химический факультет МГУ
Написать письмо редактору
|
